포토리소[photolithography] – 가공방법 및 적용분야에 대해서

Fig. 1. The basic concept of Photolithography.

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1.2 포토리소그래피 장비의 기본적 형태
– 광학계에 따른 방식
근접 노광방식(proximity printing)
투영 노광방식(projection printing)
Fig. 2. Schematic diagram of photolithography systems.
<물리학과